FS-Pro半導體參數(shù)測試系統(tǒng)產品簡介

FS-Pro 半導體參數(shù)測試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導體器件電學特性分析設備，在一個系統(tǒng)中實現(xiàn)了電流電壓 (IV)測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式 IV 測試、任意線性波形發(fā)生與測量、高速時域信號釆集以及低頻噪聲測試能力。幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測試系統(tǒng)中完成。其全面而強大的參數(shù)測試分析能力極大地加速了半導體器件與工藝的研發(fā)和評估進程，并可與概倫 9812 系列噪聲測試系統(tǒng)無縫集成，其快速 DC 測試能力進一步提升了 9812 系列產品的噪聲測試效率。

FS-Pro半導體參數(shù)測試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導體器件電學特性分析設備。

• 在一個系統(tǒng)中實現(xiàn)了電流電壓(IV)測試、電容電壓(CV)測試、脈沖式IV測試、任意線性波形發(fā)生與測量、高速波形發(fā)生與釆集以及低頻噪聲測試能力，幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測試系統(tǒng)中完成。

• 全面而強大的參數(shù)測試分析能力極大地加速了半導體器件與工藝的研發(fā)和評估進程，并可與概倫9812系列噪聲測試系統(tǒng)無縫集成。

• 釆用工業(yè)通用的PXI模塊化硬件架構，系統(tǒng)配置靈活，擴展性強。

• 內置專業(yè)測試軟件LabExpress提供豐富的測試預設和強大的數(shù)據處理功能。

• LabExpress軟件同時支持自動化量測和并行量測，可進一步提升測試效率。

• 廣泛應用于各種半導體器件、LED材料、二維材料器件、金屬材料、新型材料與器件測試、器件可靠性等研究領域。

• 產品應用

• 新型材料與器件測試

• 半導體器件可靠性測試

• 半導體器件超短脈沖測試

• 半導體器件無損探傷與測試

• 光電器件和微電子機械系統(tǒng)測試

• 半導體器件超低頻噪聲領域測試

主要規(guī)格參數(shù)：

• 寬量程：200V 電壓，1A 直流電流
• 高精度：30fA 精度，0.1fA 靈敏度
• 噪聲測試帶寬：高精度zui高 100kHz，超低頻zui高 40Hz
• 噪聲測試速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 頻率分辨率）
• 內置脈沖測試：200V 電壓，3A 脈沖電流，最小 50μs 脈寬
• 內置 CV 測試：200V/10kHz，zui低可測至 20fF
• 外置 CV 測試模塊：40V/2MHz（高精度型）；40V/10MHz（高帶寬型）
• 高速時域信號采集：最小采樣時間 < 1μs，10 萬點數(shù)據
• 噪聲測試最小阻抗：500Ω
• 噪聲測試分辨能力：zui低 2e-28A2/Hz
• 噪聲測試頻率分辨率：高精度 0.1Hz，超低頻 0.001Hz
• 高精度快速波形發(fā)生與測量套件
• 2 通道，SMA 接口
• 快速 IV 測試：±10V 電壓，zui大 10mA 電流
• SMU 直通：±25V 電壓輸入，zui大 100mA 電流
• 100MSa/s 采樣率，最小推薦脈沖寬度可達 130ns

  
  

軟件功能

FS-Pro 系列內置 LabExpress 測量軟件具有強大的測試和分

析功能，該軟件提供友好的圖形化用戶使用界面和靈活的設

定，具有下列主要功能：

完整支持直流、脈沖、瞬態(tài)、電容、噪聲測試、任意波形

發(fā)生與測量功能

支持長程 Stress 測試，和 HCI，BTI，TDDB，GOI（V-Ramp，

J-Ramp）可靠性測試

內置的常見器件測試預設可大大提高測試設置效率，幫助

新手操作者快速完成測試

強大的自定義設定功能可以靈活編輯電信號

內置強大數(shù)據處理能力可測試后直接展幵器件特性分析多

種數(shù)據保存方式，導出數(shù)據可供用戶后續(xù)分析研究也可直

接導入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進行模型提取

和特性分析

LabExpress 專業(yè)版支持對主流探針臺和矩陣幵關設 備的控

制，支持晶圓映射、并行測試實現(xiàn)自動測試功能，進—步

提升測試效率